VLSIリサーチ社発表:2007年サブシテムの世界売上げトップ10ランキング

世界半導体製造装置産業の専門調査会社・VLSIリサーチ社(本社・米国・カルフォルニア州、日本窓口・(株)テクノロジー・パートナーズ・東京都品川区)は、2007年のサブシテムトップ10位の売上ランキング速報値を発表した。
同結果によると、2007年の同市場は対前年比3.5%増の69.9億ドルとなった。また、同市場はIC用、FPD用途等が含まれているが、IC用装置の2007年伸張率7%、FPD用装置の同伸張率マイナス26%という2007年の伸張率からみると、同市場の伸びは微増傾向と言える。
同装置市場のランキングをみると、オプティカルサブシテムの中のレンズの主要メーカーであるCarl Zeiss AMT AG、真空ポンプのEdwardと欧州企業が1,2位を占め、次いで米国企業ガスシステムのMKS Instruments社、搬送システムのBrooks Automation社、ガスシステムのAdvanced Energy Industries社、オプティカルサブシテムのCymer社等が3位から6位までを占めている。日本企業は唯一、真空ポンプの代表メーカーである荏原製作所がランクインしている。同社は2006年の9位から7位にランクを上げている。
なお、サブシテムとは、搬送システム、真空ポンプ、レンズ関連等、半導体装置の部材の総称で、各サブシテムは93品目を調査対象にしている。(詳細は下記の図参照)
今回の速報値は世界のサブシテムメーカーを対象にした調査結果であり、同売上げ定義は2007年の1月から12月までの売上集計である。なお、円為替レートは2006年116.35円、2006年117.76円です。

VLSIリサーチ社について

約30年の歴史を持つ同社は、半導体製造装置産業分析で定評のある会社です。現在、世界の半導体装置、材料メーカーを初めとし半導体メーカー等、幅広いユーザーから支持を頂いています。装置市場、半導体装置の主要関連部材、装置の顧客満足度調査等の解析データを提供しています。詳しい企業情報はwww.vlsiresearch.comまで。

2007年クリティカルサブシテム市場・ランキング(速報値)
(単位: 百万ドル)
2006
2007
会 社 名
2006
2007
伸張率
2006
2007
ランキング
ランキング
売上げ
売上げ
(%)
占有率(%)
占有率(%)

1
1

 Carl Zeiss AMT AG

EU
686.6 
836.2 
21.8%
10.2%
12.0 %
2
2
 Edwards
EU
601.5 
638.8 
6.2%
8.9 %
9.1 %
3
3
 MKS Instruments
US
575.0 
567.5 
△1.3 %
8.5 %
8.1 %
4
4
 Brooks Automation
US
391.2 
354.1 
△9.5 %
5.8 %
5.1 %
5
5
 Advanced Energy Industries
US
293.7 
296.9 
1.1 %
4.4 %
4.2 %
6
8
 Cymer
US
282.8 
276.7 
△2.2 %
4.2 %
4.0 %
9
7
 Ebara
Japan
125.1 
155.2 
24.1 %
1.9 %
2.2 %
7
6
 Celerity
US
153.6 
140.8 
△8.3 %
2.3 %
2.0 %
14
9
 Gigaphoton
US
92.9 
139.7 
50.4 %
1.4 %
2.0 %
8
10
 Alcatel Vacuum Technology
EU
131.1 
133.2 
1.6 %
1.9 %
1.9 %
 Others
3,417.8 
3,447.5 
0.9 %
50.6 %
49.3 %

Total
6,751.3 
6,986.6 
3.5%
100 %
100 %
 注)上記は、IC用装置、FPD用装置等用途の合計
出展:VLSIリサーチ


参考資料:サブシテムのカテゴリー

Fluid Management Subsystems
1
Fluid Management Subsystems
2
Gas Delivery Subsystems
3
Mass Flow Controllers
4
MFCs-Thermal Based
5
MFCs-Pressure Based
6
MFCs-Other Technologies
7
Gas Flow Measurement
8
Other Gas Delivery Subsystems
9
Liquid Delivery Subsystems
10
Liquid Flow Controllers
11
Liquid Flow Measurement
12
Other Liquid Delivery Subsystems
13
Other Fluid Management Subsystems

Integrated Process Diagnostics
1
Integrated Process Diagnostics
2
Gas Analysis
3
Residyal Gas Analizers
4
FTIR Gas Analysis
5
Liquid Analysis
6
Particle Measurement Subsystems
7
Particle Measurement-Gas
8
Particle Measurement-Liquid
9
Integrated Wafer Metrology
10
Other IPD

Optical Subsystems
1
Optical Subsystems
2
Light Source Subsystems
3
DUV Photolithography Sources
4
Photolithography Light Sources
5
Other Light Source Subsystems
6
Lens Subsystems
7
Lithography & Mask Lens Subsystems
8
Other Lens Subsystems
9
Other Optical Subsystems

Thermal Management Subsystems
1
Thermal Management Subsystems
2
Cooling Subsystems
3
Thermal Control Subsystems
4
Chillers
5
Heat Exchangers
6
Other Cooling Subsystems
7
Heating Subsystems
8
Temperature Measurement Subsystems
9
Thermocouple Thermometry Subsystems
10
Optical Fibre Thermometry Subsystems
11
Other Thermal Management Subsystems

Wafer Handling Subsystems
1
Wafer Handling Subsystems
2
Wafer Transport Subsystems
3
Robotic Subsystems
4
Dry Robotic Subsystems
5
Vacuum Robots
6
Atmospheric Robots
7
Wet Robotic Subsystems
8
Linear Motion Subsystems
9
Wafer Aligning / Vision Subsystems
10
Other Subtrate Handling Subsystems

Integrated Subsystems
1
Integrated Subsystems
2
Integrated Subsystems - Valye Added
3
Less Value of Subsystems Reported Elsewhere*
4
Ozone Generating Subsystems
5
Gaseous Ozone Subsystems
6
Liquid Ozone Subsystems
7
Helium Backside Cooling Subsystems
8
Vapour Delivery Subsystems
9
Gas Panels
10
Integrated Wafer Handling Subsystems
11
Other Integrated Subsystems

Power and Reactive Gas Subsystems
1
Power and Reactive Gas Subsystems
2
Process Power & Instrumentation
3
DC and RF Power Subsystems
4
DC Process Power
5
RF Power Subsystems
6
RF Power Supplies
7
UHF Power Supplies
8
HF Power Supplies
9
LF/MF Power Supplies
10
RF Power Matching Networks
11
Microwave Power Subsystems
12
Power Instrumentation Subsystems
13
Fluorine Gas Generator Power Subsystem.
14
Other Process Power Subsystems

Vacuum Subsystems
1
Vacuum Subsystems
2
Vacuum Pump Subsystems
3
Dry Pump
4
Turbomolecular Pump
5
Cryopump
6
Other Vacuum Pumps
7
Pressure Sensing and Control Subsystems
8
Pressure Gauges-Capactiance
9
Pressure Gauges-Electronic
10
Other Vacuum Subsystems

Other Subsystems
1
Other Subsystems
2
Vibration Isolation Subsystems
3
Point of use Abatement Subsystems
4
Other Undefined Subsystems


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  (株)テクノロジー・パートナーズ(www.tpi-japan.com) 
     代表取締役/主席アナリスト 林 一則 (khayashi@tpi-japan.com
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          TEL: 03-3492-1341  FAX:03-3492-0760