● 装置カテゴリー別の10ベストの要約

1. 前工程装置部門（装置売上げ上位15社を対象）

バリアン社が昨年に引続いて1位を維持している。同社の回答数は約600を数え、回答数でも、常に第1位を堅持している。上位10社の内、日本企業は5社がランクインしている。
日立国際電気は昨年の第7位から4位に躍進した他、東京エレクトロン、大日本スクリーン製造、キヤノン、ニコン等のリソ関連装置メーカーの健闘が見られる。

2. 前工程装置部門（装置売上げ上位15社以下を対象）

同部門は企業数が多い事もあり、毎年変動が見られる。2009年には、日新イオン機器が2006年に第1位になって以来、3年ぶりに返り咲いた。

3. テスト装置部門

テスト部門は、ドラスティクな変動を見せている。Verigyは2008年の10位から、2009年は第1位へ大幅な躍進を見せている。なお、同部門では、ランキングへの条件を満たした企業が4社のみとなっている。

4. マテリアルハンドリング部門

同部門では、SUSS マイクロテック社が第一を堅持している。10社のうち3社が日本企業となっている。常連の東京エレクトロン、東京精密、アドバンテストの３社は堅調な評価結果となっている。

5. プロセス評価・診断装置

同部門ではKeithleyInstrumentが2年連続第1位となった。
アジレントテクノロジーズ社が第一位となった。また、同ランキングの中には日立ハイテクノロジース以外に3社の日本企業（浜松フォトニクス、リガク、日本電子）がある。2003年にランキング入りした浜松フォトニクス以外は、初めてのランキング入りとなっている。

6. 後工程装置

同部門でも、ランキングに大きな変動がある。同部門で、ディスコが初めて第1位となった。同社は、8.04という同部門の中では、唯一8点台となっている。
日本企業は、ディスコ以外に東京精密、新川、さらにTOWAが第8位になっている。


● 装置売上げ別の10ベスト

VLSIﾘｻｰﾁ社では、毎年世界の半導体装置メーカー・約500社の売上げ調査を実施している。
この調査をもとにして、上位15社までの企業、それ以下の企業に大別してランキングを発表している。

1. Large Suppliers of Chip Making Equipment（前工程半導体装置売上げ上位15社の企業）

同部門ではVarianが第1位を堅持している。日本企業は10社のうち4社がランクインしている。7位から4位となった東京エレクトロン、2005年以来のランキング入りしたニコン、大日本スクリーン製造、アドバンテスト等がある。

2. Focused Suppliers of Chip Making Equipment（前工程半導体装置売上げ上位15社以下の企業）

同部門も変動の大きなランキングとなっている。日本企業は5社あるが、そのいづれも2008年にランキンングしていない企業となっている。2位の日本電子、3位のディスコなどの躍進が注目される。


● 図1. 装置別の10ベスト

● 図2.売上げ別の10ベスト